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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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公司介绍
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公司简介

沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于 2002 年,是中国科学院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业。公司主营产品是用于芯片生产的高端半导体设备。芯源是国内唯一能提供与光刻机联机的涂胶显影机生产企业,连续获评中国半导体设备行业十强,主要客户包括合积电、中芯国际、长江存储、长电科技等海内外一线大厂。芯源是科创板上市公司,在上海临港、日本京都设有子公司,在苏州、杭州、武汉、青岛、厦门、合湾都设有办事处。目前员工超 1000人、年产值 15亿, 上海芯源微企业发展有限公司于2021年在上海临港新片区成立,总投资6.4亿元,占地3万平米,配置可容纳800人的研发办公厂区,国际一流水平的研发实验室,主要开展高工艺技术节点涂胶显影设备、化学清洗设备以及其他新产品、新部件、新平台的研发制造。

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公司风采
公司地址
辽宁省沈阳市浑南新区彩云路1号
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